? ? ? ?佳能將于2018年10月下旬起正式發(fā)售FPD（Flat Panel Display）曝光設(shè)備新品，型號為“MPAsp-H1003T”。該產(chǎn)品針對第8代玻璃基板尺寸※1研發(fā)，實(shí)現(xiàn)了運(yùn)用2.0μm（L/S※2）的解析度對65英寸液晶面板進(jìn)行一次曝光的技術(shù)。

MPAsp-H1003T

? ? ? ?隨著平板電視的普及，今后的電視市場需求方向，將向以65英寸為主的大尺寸、搭載4K和8K技術(shù)的高精細(xì)化、以及以有機(jī)EL面板為代表的獲得Ultra HD Premium※3認(rèn)證的高品質(zhì)電視方向發(fā)展。新產(chǎn)品針對在電視機(jī)等液晶平板制造業(yè)中被廣泛使用的第8代玻璃基板所設(shè)計，使高品質(zhì)65英寸液晶面板的能夠?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)。

實(shí)現(xiàn)運(yùn)用2.0μm解析度對65英寸液晶面板的一次曝光

? ? ? ?佳能的FPD曝光設(shè)備采用了搭載“Mirror Projection”一次曝光技術(shù)的鏡面光學(xué)系統(tǒng)，通過大范圍曝光，實(shí)現(xiàn)了大型液晶面板的量產(chǎn)。通過新開發(fā)的鏡面光學(xué)系統(tǒng)與獨(dú)特的加工技術(shù)，新產(chǎn)品保持了與原機(jī)型“MPAsp-H803T”（2013年6月發(fā)售）相同的2.0μm（L/S）的解析度，并將一次曝光的范圍從較大58英寸進(jìn)一步提升到了65英寸。因此，相比于舊機(jī)型，新產(chǎn)品對65英寸液晶面板的曝光單位時間縮短了約37%※4。

套刻精度的提升

? ? ? ?隨著加工工藝的高精細(xì)化，套刻精度也變得愈加重要。影響套刻精度的較大因素就是加工工藝中的非線性成分（即形變成分），通過倍率補(bǔ)正技術(shù)對非線性成分的有效應(yīng)對，并與多點(diǎn)同時校正系統(tǒng)配合，新機(jī)型的套刻精度相比以往機(jī)型提高了10%。

雙曝光線布局進(jìn)一步提升MMG生產(chǎn)效率

? ? ? ?通過對一臺的涂布顯影設(shè)備※5連接兩臺的FPD曝光設(shè)備的雙曝光線布局，提升了可在玻璃基板上配置不同尺寸液晶面板的MMG※6技術(shù)的生產(chǎn)效率。新產(chǎn)品還可以與舊機(jī)型“MPAsp-H803T”配合，能使其在不影響現(xiàn)有第8代生產(chǎn)線產(chǎn)能的前提下實(shí)現(xiàn)搭配量產(chǎn)。

※1?2,200×2,500mm尺寸的玻璃基板主要運(yùn)用在電視機(jī)的液晶面板制造上。
※2?Line and Space的略寫。
※3?為制定Ultra High Definition平臺的統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，設(shè)立了UHD聯(lián)盟。Ultra HD Premium認(rèn)證授予滿足該聯(lián)盟制定的所有標(biāo)準(zhǔn)的顯示設(shè)備。
※4?在第8代玻璃基板上，曝光三片65英寸面板的單位時間比較。
※5 ?曝光前將光刻膠涂在玻璃基板的表面上，曝光后再將其浸沒于顯影液中來去除多余光刻膠的設(shè)備。
※6 ?Multi Module on Glass的略寫。在一張玻璃基板上配置不同尺寸液晶面板的技術(shù)。可提高玻璃基板的使用效率。